新一代 Thermo Scientific Helios 5 DualBeam 具有 Helios DualBeam 显微镜产品系列领先业界的高性能电子显微镜成像和分析性能。它经过精心设计,可满足材料科学研究人员和工程师对各种聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM) 的需求 - 即使是最具挑战性的样品。
Helios 5 DualBeam 重新定义了 高分辨率成像的标准:高材料对比度、快速、简单和精确的高质量S/TEM样品制备和APT样品制备,以及高质量的亚表面和 3D 表征。新一代 Helios 5 DualBeam 在 Helios DualBeam 系列成熟功能的基础上改进优化,旨在确保系统于手动或自动工作流程下的最佳运行状态。这些改进包括:
更易于使用:Helios 5 DualBeam 是不同经验用户最易使用的 DualBeam。操作员培训可以从几个月缩短到几天,系统设计可帮助所有操作员在各种高级应用程序上实现一致、可重复的结果。
提高了生产率:Helios 5 DualBeam 和 Thermo Scientific AutoTEM 5 软件的高级自动化功能、增强的稳固性和稳定性允许无人照看甚至夜间操作,显著提高了样品制备通量。
缩短出结果的时间:Helios 5 DualBeam 现在包括新调整图像方法 FLASH。对于传统的显微镜来说,每次操作员需要获取图像时,必须通过迭代对中仔细调整显微镜。使用 Helios 5 DualBeam 时,通过屏幕上的简单手势即可激活 FLASH,从而自动调整这些参数。自动调整可以显着提高通量、数据质量并简化高质量图像的采集。
Thermo Scientific Helios 5 DualBeam 是行业领先的 Helios DualBeam 系列的第五代产品之一。本款产品经精心设计,可满足科学家和工程师的需求,它将具有极高分辨率成像和高材料对比度的创新性 Elstar 电子柱与可进行快速、简单、精确的高质量样品制备的出色的 Thermo Scientific Tomahawk 离子柱加以结合。除了先进的电子和离子光学系统,Helios 5 DualBeam 还采用了一套最先进的技术,能够实现简单、一致的高分辨率 (S)/TEM 和原子探针断层扫描 (APT) 样品制备,还能够为最具挑战性的样品提供高质量的亚表面和 3D 表征。
规格 - Helios 5 DualBeam
Helios 5 CX | Helios 5 HP | Helios 5 UX | Helios 5 HX | Helios 5 FX | ||
工作准备和 XHR SEM 成像 | 最终样品制备(TEM 片层、APT) | 埃米级 STEM 成像和样品制备 | ||||
SEM | 分辨率 | 20 eV – 30 keV | 20 eV – 30 keV | |||
着陆能量 | 0.6 nm @ 15 keV | 0.6 nm @ 2 keV | ||||
1.0 nm @ 1 keV | 0.7 nm @ 1 keV | |||||
1.0 nm @ 500 eV | ||||||
STEM | 分辨率 @ 30 keV | 0.7 nm | 0.6 nm | 0.3 nm | ||
FIB 制备工艺 | 最大物料去除率 | 65 nA | 100 nA | 65 nA | ||
最佳最终抛光 | 2 kV | 500 V | ||||
TEM 样品制备 | 样品厚度 | 50 nm | 15 nm | 7 nm | ||
自动化 | 否 | 是 | 是 | |||
样品处理 | 行程 | 110 x 110 x 65 mm | 110 x 110 x 65 mm | 150 x 150 x 10 mm | 100 x 100 x 20 mm | 100 x 100 x 20 mm |
+ 5 轴 (S)TEM 计算机阶段 | ||||||
加载锁 | 手动快速加载器 | 自动 | 手动快速加载器 | 自动 | 自动 + 自动插入/拔出 STEM 杆 |
Helios 5 DualBeam的主要特点
高质量样品制备
使用高通量 Thermo Scientific Tomahawk 离子镜筒或具有无人可比低电压性能的 Thermo Scientific Phoenix 离子镜筒为 S/TEM 和 APT 分析制备自定义样品。
全自动
使用可选配的 AutoTEM 5 软件进行快速、简单、 全自动、无人值守的多现场原位和非原位 TEM 样品制备以及交叉切片。
以最短时间获得纳米级信息
使用一流的 Thermo Scientific Elstar 电子镜筒为任何经验水平的用户提供 Thermo Scientific SmartAlign 和 FLASH 技术支持。
新一代 UC+ 单色器技术
凭借具有更高电流的新一代 UC+ 单色器技术,可以在低能量下实现亚纳米性能,从而显示最细致的细节信息。
完整的样品信息
可通过多达 6 个集成在色谱柱内和透镜下的集成检测器获得清晰、精确且无电荷的对比度。
3D 分析
使用可选配的 Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) 软件通过精确靶向目标区域而获得高质量、多模式的亚表面和 3D 信息。
快速纳米原型设计
对临界尺寸小于 10 nm 的复杂结构进行快速、准确、精确的铣削和沉积。
精确的样品导航
在 150-mm 压电载物台的高稳定性和准确性或 110-mm 载物台的灵活性以及腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机的支持下根据具体应用需求进行定制。
无伪影成像
基于集成的样品清洁度管理和专用成像模式,例如 DCFI 和 SmartScan 模式。
STEM 成像
Thermo Scientific Helios 5 FX 的配置具有独特的原位 3Å 分辨率 STEM 功能,可提供高高效的工作流程。
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