Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam（等离子聚焦离子束扫描电子显微镜，简称 PFIB-SEM）可以提供四种不同的离子种类作为主离子束，让您可以选择能为样品和用例（如扫描透射电子显微镜 [STEM] 和透射电子显微镜 [TEM] 样品制备和 3D 材料表征）提供最佳结果的离子。
您可以在不到十分钟的时间里轻松地在氩、氮、氧和氙之间切换而不会牺牲性能。 这种前所未有的灵活性极大地扩展了 PFIB 的潜在应用领域，并可实现通过研究离子-样品相互作用来优化现有用例。
Helios 5 Hydra DualBeam 将创新的新型多离子种类等离子 FIB (PFIB) 柱与单色 Thermo Scientific Elstar UC+ SEM 色谱柱相结合，提供先进的聚焦离子和电子束性能。直观的软件和前所未有的自动化水平和易用性可以观察和分析相关的亚表面体积信息。
规格 - Helios 5 Hydra DualBeam
| Helios5HydraCXDualBeam | Helios5HydraUXDualBeam | |
| 电子束分辨率 | 在最佳WD： 1kV时0.7nm 500V(ICD)时1.0nm 在重合点： 15kV时0.6nm 1kV时1.2nm | |
| 电子束参数空间 | 电子束电流范围：在所有加速电压下0.8pA至100nA 加速电压范围：350V–30kV 着陆能量范围：20*eV–30keV 最大水平射野宽度：4mmWD时2.3mm | |
| 离子光学系统 | 高性能PFIB色谱柱，具有独特的电感耦合等离子(ICP)源，支持四种离子种类，并具有快速切换能力 离子种类（初级离子束）：Xe、Ar、O、N 切换时间<10分钟，仅需软件操作 离子束电流范围：1.5pA至2.5μA 加速电压范围：500V–30kV 最大水平射野宽度：在等离子束重合点处为0.9mm 重合点时的氙离子束分辨率 <使用首选统计方法在30kV时为20nm 使用选择性边缘方法在30kV时<10nm | |
| 腔室 | 在分析WD时的E和I束重合点(4mmSEM) 端口：21 内部宽度：379mm 集成式等离子清洁器 | |
| 探头 | Elstar色谱柱镜筒内SE/BSE探头（TLD-SE、TLD-BSE） Elstar色谱柱柱内SE/BSE探头(ICD)* Everhart-ThornleySE检测器(ETD) 查看样品/色谱柱的IR摄像机 用于二级离子(SI)和二级电子(SE)的高性能腔室内电子和离子探头(ICE) 腔室内Nav-Cam样品导航摄像机* 可伸缩、低电压、高对比度、定向、固态反向散射电子探头(DBS)* 集成的等离子束电流测量 | |
| 载物台和样品 | 灵活的五轴电动载物台： XY 范围：110 mm Z 范围：65 mm 旋转：360°（无限） 倾斜范围：-38° 至 +90° XY 重复性：3 μm 最大样品高度：与共心点间距 85 mm 0° 倾斜时的最大样品重量：5 kg（包括样品架） 最大样品尺寸：完全旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限） 计算中心旋转和倾斜 | 高精度五轴电动载物台，配有压电驱动的 XYR 轴 XY 范围：150 mm Z 范围：10 mm 旋转：360°（无限） 倾斜范围：-38° 至 +60° XY 重复性：1 μm 最大样品高度：与共心点间距 55 mm 0° 倾斜时的最大样品重量：500 g（包括样品架） 最大样品尺寸：完全旋转时 150 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限） 计算中心旋转和倾斜 |
应用空间广泛
独特离子源可提供以下四种快速、可切换离子种类，应用空间最为广泛：Xe、Ar、O、N
高通量和高质量
使用下一代 2.5 μA 等离子 FIB 色谱柱进行高通量、高质量和统计学相关的 3D 表征、交叉切片和微加工。
先进的自动化
使用选配的 AutoTEM 5 软件，以最快速轻松的方式实现自动化多点原位和非原位 TEM 样品制备以及交叉切片
高质量样品制备
由于采用新型 PFIB 色谱柱，可实现 500 V 最终抛光以及在所有操作条件下均可提供出色的性能，可以用氙、氩或氧进行高质量无镓 TEM 和 APT 样品制备。
纳米级实现周期短
借助 SmartAlign 和 FLASH 技术，任何经验水平的用户都可以最短时间获得纳米级信息
完整的样品信息
可通过多达六个集成在色谱柱内和透镜下的集成探头获得清晰、精确且无电荷对比度的最完整的样品信息
电子和离子束诱导沉积和蚀刻
通过选配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 气输送系统，在 DualBeam 系统上实现最先进的电子和离子束诱导沉积和蚀刻功能。
精确的样品导航
借助 150 mm 压电载物台的高稳定性和准确性或 110 mm 载物台的灵活性以及选配的腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机，可根据具体应用需求进行定制。
无伪影成像
基于集成的样品清洁度管理和专用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式
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