Meridian 7 光学故障隔离系统

提高良率和可靠性的能力包括详细的缺陷分析。由于器件内的电压或定时问题，边缘故障的设计调试对于光学故障隔离系统可能更具挑战性。想要确定参数失效的根本原因，通常需要故障定位在器件内部的实际位置，并且拥有在不损坏器件或遮蔽缺陷的情况下进入相关电路的能力。

Thermo Scientific Meridian 7 系统可为 10 nm 以下器件提供可见光激光电压成像 (LVI)、探测 (LVP) 和动态激光刺激 (DLS/LADA)。由于无超薄底物需求，此光学故障隔离系统在测试时保留了器件的完整性和功能性，提供的生产解决方案可靠且实用。

Meridian 7 光学故障隔离系统有两种配置可供选择：

Meridian 7D 系统：1064 nm 和 785 nm 组合双 SIL 激光扫描显微镜 (LSM) 系统

Meridian 7S 系统：仅 785 nm LSM 系统，带有用于高速测试的可选高级样品冷却，其中可能需要样品热管理以防止改变芯片性能带来的热逃逸