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用于半导体的 Meridian™ V 系统

优化的动态 LSM 平台

完美光程实现极佳成像

架构支持自动检测设备 (ATE) 对接和背侧 (B/S) 分析

为实验室提供机动性;高功率冷却选项

顶级性能

激光电压探测 (LVP) 和激光电压成像 (LVI) 用于定时和功能分析

用于关键路径分析的动态激光模拟 (DLS)

强大且易于使用的 Sierra 软件 GUI

动态电气故障隔离

晶体管和单元级故障定位

隔离设计-过程边缘性

基于 Ruby 光学元件


货号: MERIDIANV

规格 - 用于半导体的 Meridian™ V 系统

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  • 配置 & 特点

    极高性能的固体浸没透镜 (SIL) 和成像

    优化的单色光程

    “点 & 单击” 高数值孔径 (NA) SIL (3.1, 2.9 NA)

    偏振优化的成像

    高性能 1320 nm LVI 和 LVP

    低频和高带宽选项

    高分辨率 1064 nm LVx 选项

  • 性能共焦 LSM

    静态和动态激光刺激;SLS 锁定

    双波长近红外(近红外系统)(1064, 1320/1340)

  • 系统

    Sierra 软件套件

    基于 Ruby 光学元件