用于半导体的 Meridian™ M 系统

Thermo Scientific™ Meridian™ M 系统采用高灵敏度宽频带 DBX™ 光子发射及静态激光刺激技术，可以实现电气故障定位。来自晶圆测试、芯片探针的给定结果证明，Meridian M系统可为SEM或TEM等纳米探测或成像技术实现定位。

定制设计的光学元件、一组用户可选的波长范围以及低背景噪声使得 Meridian M 能够针对各种常规或具有挑战性的故障类型进行优化，例如：导致异常漏电的高级储存设备中的大面积工艺变化；储存单元中高电阻率的字线到字线或位线到位线的短路；低电压 GPU 和其他低电压逻辑电路中的电阻故障；以及任何需要较长集成时间的弱发射故障。

Meridian M 系统除了容纳封装的晶粒外，还可容纳完整晶片，允许 FA 工程师对好晶粒和坏晶粒进行比较，有助于解读复杂的发射图像。

功能包括极高灵敏度发射检测，用于低 VDD 和低泄漏；先进的恒流和恒压静态激光刺激 (SLS) 技术；检测热故障的能力，包括具有挑战性的高欧姆短路和电迁移。

货号: MERIDIANM